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XYY对位平台技术原理为什么你还不懂

分类:行业动态 发布时间:2022-07-22 14:54:21 点击:
  对位平台是一种精密的仪器,那下面我们来了解下关于XYY对位平台的技术原理是怎么样的吧。
  
  XYY对位平台包括了对位模组固定板、运动板、X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置,X方向移动装置、第一Y左右方向移动装置和第二左右Y方向移动装置分别与对应对位模组固定板、对该运动板活动连接,还包括设置在该对位模组固定板上的X方向动力装置、第一Y方向动力装置和第二Y方向动力装置,X方向动力装置带动X方向移动装置沿X方向往复运动,X方向移动装置带动该运动板沿X方向往复移位,第一Y方向动力装置带动第一Y方向移动装置沿Y方向往复运动,第一Y方向移动装置带动该运动板沿Y方向往复移位,第二Y方向动力装置带动第二Y方向移动装置沿Y方向往复运动,第二Y方向移动装置带动该运动板沿Y方向往复移位。
  
  X方向移动装置包括X方向移动板,X方向移动板与该运动板通过轴承活动连接,X方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该对位模组固定板上的第一固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动。
  
  第一Y方向移动装置包括第一Y方向移动板,第一Y方向移动板与该运动板通过轴承活动连接,第一Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该对位模组固定板上的第二固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动。
  
  第二Y方向移动装置包括第二Y方向移动板,第二Y方向移动板与该运动板通过轴承活动连接,第二Y方向移动板的下端面上设置有滑轨和滑槽,该滑轨沿该对位模组固定板上的第三固定板滑槽往复移动,该轴承的上方设置有滑块,该滑块沿该滑槽往复移动
  
  X方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮,该偏心轮与X方向移动板之间通过弹簧连接,该弹簧消除该偏心轮与X方向移动板之间的间隙。
  
  第一Y方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮,该偏心轮与第一Y方向移动板之间通过弹簧连接,该弹簧消除该偏心轮与第一Y方向移动板之间的间隙。
  
  第二Y方向动力装置包括电机和与该电机固定连接的偏心轮,该偏心轮与第二Y方向移动板之间通过弹簧连接,该弹簧消除该偏心轮与第二Y方向移动板之间的间隙。
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