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精密对位平台如何进行校准

分类:行业动态 发布时间:2022-07-22 14:54:21 点击:
  ​对位平台是高精度自动化领域中的部件。使用以及经过长时间的使用都是要对齐进行校准的,只有校准才会在后期使用过程中减少误差的出现,从而减少不良率。那么对位平台该如何校准呢?下面小编就为您详细的讲解一下。
  
  1、首先需要获取三组以上,且不同线的X方向和Y方向的预设平移量后,根据其对应关系和预设平移量,确定对位平台中各个工作轴的移动量,并控制各个工作轴,根据移动量进行移动,实现平移;
  
  2、根据标记点在平移前后的平台坐标变化量和图像坐标变化量,计算类型参数,具体的类型参数包括:图像坐标系 在Y方向的分辨率R Y、图像坐标系在X方向的分辨率Rx、以及图像坐标系和平台坐标系之间的夹角ω ;
  
  3、记录事先预设的旋转角度α后,根据对位平台各个部件之间对应关系和旋转角度α,确定对位平台中各个工作轴的第二移动量,并控制各个工作轴根据第二移动量进行移动,实现旋转;
  
  4、根据类型参数、第二类型参数和对位平台在旋转前,所述标记点的图像坐标 (X0,y0),获取对位平台在移动过程中,标记点的图像坐标系和平台坐标系之间的 映射关系,所述映射关系为:(x1,Y1)为所述标记点在移动过程中的平台坐标,(x2,y2)为标记点在移动过程中的图像坐标。
  
  5、旋转平移单元,使其达到一定的旋转角度β,并且控制旋转角度β相对应的平移量, 控制进行相应的旋转和平移; 第二计算单元,用于设定所述标记点在旋转和平移前的第二平台坐标为(xK,Yk),根据 所述标记点的平台坐标(X1,Y1)、标记点在旋转和平移前的图像坐标(XK,yK)、标记点 在旋转和平移后的图像坐标以及所述类型参数,计算第二平台坐标 (Xe,Ye);
  
  6、判断单元,用于判断所述第二平台坐标(XK,Yk)和平台坐标(X1Y1)之间的差值是否在规定的范围内,若是,确定所述第二平台坐标(XK,Yk)为对位平台在旋转前,标记点的平台坐标(Xtl,Ytl),若否。
  
  7、设定第二平台坐标(XK,Yk)作为平台坐标(X1,Y1),并重新 获取其他预设的旋转角度,并设定所述其他预设的旋转角度为旋转角度β,返回由平 移量获取单元执行操作。
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